ウェハ検査結果から原因工程を特定する
欠陥パターンの分類と装置ログの突合により、歩留まり低下の発生源を絞り込みます。
歩留まり
89.4 %
-3%
検査済みウェハ
25 / 25
主要欠陥
パーティクル
疑わしい工程
エッチング#3
ウェハ面内の良品率分布
| 左 | 左中 | 中 | 右中 | 右 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 上 | 96 | 94 | 91 | 88 | 84 |
| 中上 | 95 | 93 | 90 | 85 | 79 |
| 中 | 94 | 92 | 88 | 81 | 72 |
| 中下 | 95 | 93 | 89 | 84 | 77 |
| 下 | 96 | 95 | 92 | 89 | 86 |
数値は区画ごとの良品率(%)。色が薄い区画に欠陥が集中しています。
欠陥種別の検出件数
パーティクル148件
パターン欠け42件
スクラッチ26件
ブリッジ11件
工程別の通過歩留まり（縦軸は80%起点）
99 %
98 %
91 %
98 %
97 %
AIによる原因工程の切り分け
原因工程を特定解析結果
欠陥はウェハ外周側に偏在し、エッチング#3 のチャンバ B を通過したウェハに集中しています。同チャンバの上流にあるパーティクルモニタの値も 3 日前から上昇しており、チャンバ清掃が最有力の対策です。